集成電路+芯片制造+平板顯示器+半導體材料+鋰電愛德華真空泵應用。

深圳市托理拆利機電設備有限公司是Edwards愛德華真空泵授權代理商,為客戶24小時提供技術支持及售後服務,針對各個行業工藝端設計提供適合的負壓真空系統解決方案,電子廠廠務真空系統,鋰電池真空設備、光伏真空設備、為科研真空設備、實驗室真空設備、科學儀器真空設備、半導體真空設備、工廠高真空設備、學校高真空設備提供優化的真空解決方案。

集成電路+芯片制造+平板顯示器+半導體材料+鋰電愛德華真空泵應用

幹式真空泵市場規模提高的關鍵推動要素來自於生物制藥,制藥企業運用幹式真空泵在藥物、化工中間體、原材料的生產流程中維持合適的反映自然環境,及其用以持續上升的新藥研究主題活動。

亞洲地區是幹式真空泵市場增長速度較快的地區,關鍵推動要素是穩步增長的半導體材料和電子器件產業發展趨勢。

集成電路+芯片制造+平板顯示器+半導體材料+鋰電愛德華真空泵應用。

幹式真空泵行業應用

集成電路行業幹式真空泵

幹式真空泵是半導體材料各制造中必不可少的通用機械,運用於單晶體拉晶、Load-Lock、離子註入、CVD、分子層堆積《ALD》、封裝、檢測等清理或苛刻制造。

獲益於近些年集成電路產業的持續增長,幹式真空泵產業也維持著不斷平穩的未來發展趨勢。

以 12 英尺圓晶生產流水線為例子,每 3.5 萬片/月生產能力必須約 2,000 臺機械泵。

2019 年全世界圓晶在運生產能力折算12 英尺約 869 萬片/月,假定總量幹式真空泵每一年拆換20%《晶圓制造公司對幹式真空泵的使用壽命一般為 5 年》,按每臺幹式真空泵平均價 10 萬餘元估計,2019 年全世界集成電路行業幹式真空泵總量更換市場規模約 100 億人民幣。

太陽能發電行業幹式真空泵

幹式真空泵是太陽能發電產業的晶體材料和矽片生產制造的必需機器設備。

2019 本年度中國內地矽片生產能力 173.7GW,晶體材料和矽片生產制造每 GW 必須約 200 臺幹式真空泵。

依據隆基股份、中環股份、晶澳高新科技、晶科能源等光伏產品生產商的公示,預估 2020 年-2022 年每一年將增加矽片生產能力約 50GW,亦即每一年因增加矽片生產能力提升幹式真空泵市場的需求約 7億人民幣。

綜上所述,預估以後兩年太陽能發電產業對幹式真空泵的市場前景為每一年 12-15 億人民幣。

幹式真空泵在別的產業運用

除集成電路和太陽能發電產業外,幹式真空泵做為通用機械,因為其具有較好的清潔真空泵特點和穩定性,因而是 LED 產業的外延片生長發育和芯片制造、平板顯示器產業 PVD 等加工工藝階段真空得到的首要機器設備。

除此之外,幹式真空泵在鋰電烘幹處理工藝流程,及其制藥業、化工廠等產業中都有比較普遍的運用。

Edwards愛德華幹式真空泵系列:

小型幹式泵:

幹式多級羅茨泵:Edwards nXLi 風冷式單相幹泵

幹式渦旋泵:Edwards XDS、nXDS 和新型 mXDS 系列幹式渦旋泵

幹式隔膜泵:Edwards 隔膜泵

nXLi 幹式多級羅茨泵:Edwards nXLi 風冷式單相幹式泵

nXRi 幹式多級羅茨泵:高性能緊湊型幹式泵 nXR30、40、60、90 和 120i

化學品幹式泵:CXS CDX EDP

半導體幹式泵:半導體真空泵

油封泵:EOSi 旋轉螺桿\E2M0.7-28 旋片式真空泵\E2M 40-275 旋片式真空泵\E2S 雙級旋轉式葉片泵\RV 雙級旋片泵\Stokes Microvac 旋轉活塞泵\nES 單級旋片泵

羅茨/增壓真空泵:EH\HV\Stokes 6″ 機械增壓泵

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