愛德華真空泵在半導體、平板顯示、發光二極管、電池使用須知。

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愛德華真空泵在半導體、平板顯示器、發光二極管、太陽能電池使用須知

Edwards愛德華真空泵主要應用在哪些地方?

Edwards愛德華真空泵是半導體、平板顯示器、發光二極管和太陽能電池制造過程中不可或缺的一部分。

廣泛應用於工業,包括電力、玻璃和其他塗料應用、鋼鐵和其他冶金、制藥和化學。

愛德華真空泵適用於科學儀器和許多研發應用。

下面TORRY小編來給大家介紹關於Edwards愛德華真空泵的使用須知,希望能夠對大家有所幫助~

愛德華真空泵在半導體、平板顯示、發光二極管、電池使用須知。

Edwards愛德華真空泵的使用須知:

1、機器設備的應用規定:愛德華真空泵用以抽清潔汽體,可是留意不可以抽有害、易燃性、易燃易爆、腐蝕汽體或是蒸氣、化工品有機溶劑及粉末狀等。

如可燃氣體、含獨特化工品要求成份的獨特或濃度較高的強氧化劑氣體、或半導體材料加工工藝中濃度較高的汽體、溶劑、結晶體汽體等,這種汽體非常容易使滾動軸承無效。

2、溫度規定:進氣口溫度必須小於50°C,不然在被抽真空系統與泵進風口中間必須加冷阱,減溫至小於50°C。

3、抽帶有水蒸氣的汽體時,要開啟氣鎮閥抽真空,被抽汽體水蒸氣成分規定在23克/日下列。

若是超出此極限,可能減少氣鎮閥使用壽命。

4、必須安裝電動機過載保護器,定期維護明確此泵安全性接地裝置。

5、不必由一兩個人挪動愛德華真空泵,此由技術專業工作人員運送、安裝配備、佈線、實際操作、維護保養和查驗,不然會出現觸電事故、負傷或是泵乃至被抽真空系統毀壞的風險。

6、不必再次應用早已毀壞的泵,不然會出現負傷、觸電事故乃至被抽系統軟件毀壞等風險。

7、出氣口處要接排氣管,防止塵土進到泵內。

8、在工作中全過程中或剛關機時不必觸碰泵電動機或金屬材料構件如的確必須觸碰,恰當采用防護措施避免負傷。

9、在進風口處裝截止閥門,機械泵終止後進風口處真空值減少,由於出氣口處的空氣返至進風口處,並不是愛德華真空泵的緣故。

如要確保真空泵房間內的真空值,要在真空系統與泵中間安裝截止閥門。

10、留意不必刮碰進風口與出氣口法蘭盤,以防毀壞法蘭盤口,造成真空值提不上。

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